S6 · UHP 316L لأشباه الموصلات
الفولاذ المقاوم للصدأ UHP 316L لأشباه الموصلات (قائمة الوسائط والحدود لـ 316L/304L)
اسرد الوسائط والدرجات وظروف الحدود المتعلقة بالفولاذ المقاوم للصدأ UHP 316L لأشباه الموصلات: 4 مكونات/ظروف نموذجية، بما في ذلك الدرجات الموصى بها والمواصفات وأسباب الفشل والمعايير.
أربعة أجزاء وقائمة المواد
| الجزء / المكون | الدرجة الموصى بها | المواصفات / السماكة | السطح | أنماط الفشل | المعايير المرجعية |
|---|---|---|---|---|---|
| خطوط نقل غاز UHP | 316LVIM-VAR | مقاومة الشد: 0.010%، الكبريت (S): ≤0.05%، الأكسجين (O): ≤0.07%، الشوائب: ≤0.5 درجة ASTM E45 A/B/C/D، البنية المجهرية: سلسلة دقيقة | تلميع ميكانيكي Ra≤0.25μm → تلميع إلكتروليتي Ra≤0.13μm؛ فئة عالية Ra≤0.05μm | تلوث الجسيمات/الأيونات المعدنية هو نمط الفشل الرئيسي؛ التآكل بين الحبيبات/المنطقة الساخنة في اللحامات ثانوي ولكن لا يجب تجاهله | SEMI F20 الدرجة 5؛ SEMI F19؛ SEMI F57 |
| أجسام صمامات الغازات الخاصة / صمامات تخفيض الضغط / صمامات الحجاب الحاجز | 316Lمطروقات VIM-VAR | S≤0.005% | تلميع إلكتروليتي Ra≤0.2μm | خالٍ من الحديد الحر | SEMI F20 4.6.2؛ ASTM A182 |
| المسافة من المقعد إلى جدار الأنبوب >1D | 316Lخطوط المواد الكيميائية الإلكترونية CMP/الرطبة | بطانة EP/PFA/PTFE | Ra≤0.2μm | تآكل كاشط + أحماض قوية/مؤكسدات + احتجاز الجسيمات | SEMI F20؛ SEMI F57 |
| غرف/صمامات التفريغ | 304L/316Lالدرجة | معدل التهوية المنخفض هو الأساس، وليس الكبريت أو الأكسجين | 2B/ تلميع كهربائي/غسل حمضي | تهوية غير كافية ← انخفاض التفريغ؛ تسرب أثناء اللحام | ASTM A240؛ ISO 3669 |
يتضمن الجدولالتكوين القياسي. يمكن استخدام 304 أو 316L أو 2205 للجزء نفسه حسب الوسط ودرجة الحرارة وطريقة اللحام — اشرح الظروف بشكل أفضل من تحديد الدرجات.
اعتبارات المواد
- الدرجات الأكثر شيوعًا في هذه الصناعة هي 316L (4)، 304L (1) —— تشير الأرقام بين الأقواس إلى عدد المناطق المتأثرة، وهو مفيد للتسعير وتحضير المواد.
- في الأوساط الحمضية، 316L مجرد نقطة بداية؛ ومع زيادة التركيزات ودرجات الحرارة يُنظر في 904L / الدوبلكس (2/4 إصابات).
- نطاق السُمك: 0.005–0.01 mm —— الألواح الرقيقة تكون في الغالب أجزاء مُشكَّلة (يجب مراعاة ارتداد الانحناء وتشقق السحب العميق)، والألواح السميكة تكون في الغالب هياكل ملحومة (يجب مراعاة مدخلات الحرارة وحساسية التقسية).
المشكلات الشائعة
316L فائق النقاء لأشباه الموصلات: أي نوع من الفولاذ المقاوم للصدأ يُستخدم أكثر لمعايير SEMI F20 للكبريت/الأكسجين/الشوائب/الخشونة Ra؟
بناءً على إجمالي الصفحات، فإن الدرجات الأعلى هي 316L (4) و304L (1). أما التحديد الخاص بجزء معين فيعتمد على الوسط ودرجة الحرارة؛ على سبيل المثال، أسطح العمل المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ التي تلامس المياه المالحة يجب أن تتحول من 304 إلى 316L.
أي الأجزاء هي الأكثر عرضة للمشكلات؟
بناءً على أوصاف الأعطال، النمط الشائع هو "أنابيب نقل الغاز فائقة النقاء": تلوث الجسيمات/الأيونات المعدنية هو العطل الأساسي؛ التآكل بين الحبيبات/لحامات منطقة التأثر الحراري ثانوية ولكن لا يجب تجاهلها؛ الدرجة الموصى بها 316L VIM-VAR، المواصفات S ≤0.005–0.010%؛ O≤7ppm؛ الشوائب وفق ASTM E45 السلسلة الدقيقة A/B/C/D ≤0.5 درجة. لهذه الحالة، حدد تركيز الوسط ودرجة الحرارة وطريقة التنظيف خلال مرحلة التصميم.
ما السُمك الذي يجب أن أختاره؟
نطاق السُمك في القائمة هو 0.005–0.01 mm. بالنسبة للألواح الرقيقة، يجب مراعاة قابلية التشكيل وجودة السطح؛ وبالنسبة للألواح السميكة، قوة اللحام والسلامة الهيكلية. قد تختلف القيم حسب مُصنّع المعدات لنفس الجزء؛ راجع رسوماتك أو شروطك.
المواد ذات الصلة والصناعات المجاورة
316Lالمادة والمواصفات304Lالمادة والمواصفاتمثبتات الفولاذ المقاوم للصدأ: سلسلة A2-70/A4-70/A4-80/D وأحدث المعاييرمثبتات الفولاذ المقاوم للصدأفلنجات الفولاذ الكربوني لتحلية مياه البحر: حدود الضغط والحرارة والتآكل 2205/2507فلنجات الدوبلكس وتحلية المياهصمامات الحجاب الحاجز الصحية/الصمامات النظيفة: ASME BPE، Ra، وحدود درجة الحرارةصمامات صحية