B11 · غاز أشباه الموصلات والإلكترونيات
ألواح الفولاذ المقاوم للصدأ للغازات المتخصصة لأشباه الموصلات والإلكترونيات: دليل الاختيار و6 قوائم أجزاء
في قطاع الغازات المتخصصة لأشباه الموصلات والإلكترونيات، قمنا بتنظيم 6 أجزاء مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ: 316L / 304L شائع الاستخدام بسماكة تتراوح من 0.05–30 mm.
ستة مواقع وقوائم المواد
| الموقع / الجزء | الدرجة الموصى بها | المواصفات / السماكة | السطح | أنماط الفشل الرئيسية | المعايير المرجعية |
|---|---|---|---|---|---|
| خطوط نقل الغاز فائقة النقاء | 316LVIM-VAR | 1/8″–2″ | تلميع كهربائي Ra≤0.4μm؛ اختبار التآكل بين الحبيبات | احتجاز الجسيمات ← تلوث الرقاقة؛ تنميش Cl⁻/F⁻؛ تآكل منطقة التأثير الحراري للحام (HAZ) | SEMI F20 Grade 5؛ ASTM A269/A632؛ SEMI F19 |
| جسم الصمام/المقاييس/صمامات الحجاب الحاجز لخزانة الغازات الخاصة | 316Lمطروقات VIM-VAR | DN1/4″–1″؛ Cv 0.05–1.30 | تلميع كهربائي Ra≤0.4μm | مسافة المقعد إلى جدار الأنبوب > 1D تشكل مناطق ميتة للاحتجاز؛ تنميش الغازات الخاصة المسببة للتآكل | SEMI F20 4.6.2؛ ASTM A182 |
| مرشحات الغاز/الوصلات/النتوءات | 316LVIM-VAR | حسب الواجهة | تلميع كهربائي Ra≤0.4μm | انسداد الجسيمات ومنتجات التآكل؛ تسرب التوصيلات | SEMI F20؛ ASTM A269 |
| خطوط نقل ملاط CMP/المواد الكيميائية الرطبة | 316Lتبطين EP/PFA/PTFE | 1/4″–2″ | تلميع كهربائي Ra≤0.4μm | طحن كاشط + حمض قوي/مؤكسد + احتجاز الجسيمات | SEMI F20؛ SEMI F57؛ ASTM A269 |
| غاسلة الرقائق/المشبك/المرشات | 316L/PFA/السيليكون/كربيد السيليكون المكعب | وعاء 3-10mm | التلميع/الانتشار | تآكل شديد + تلوث بالجسيمات | SEMI F20؛ ASTM A240 |
| غرفة التفريغ/لوحة الواجهة/عنق نافذة المراقبة | 304L/316Lدرجة الفراغ | السفينة | 2B/التلميع الكاشط/الغسل الحمضي | تدهور الفراغ المنخفض، تسرب اللحام | ASTM A240؛ SEMI F20؛ ISO 3669 |
المعدل لا يلبي المتطلباتالتكوين القياسي.يمكن لنفس الجزء التبديل من 316L إلى 304L أو 2205 بناءً على ظروف الاستخدام، مما يوفر الوقت بتحديد الظروف بدلاً من المادة فقط.
النقاط الرئيسية في اختيار المواد
- الدرجات الأكثر شيوعاً المستخدمة هي 316L (6) و304L (1).
- البدء بـ 316L المقاوم للأحماض، والارتقاء بـ 904L / أو الدوبلكس (2/6 إصابات).
- نطاق السماكة: 0.05–30 مم: الألواح الرقيقة لأجزاء التشكيل (مراعاة ارتداد الانحناء وتشقق السحب العميق)، الألواح السميكة لهياكل اللحام (مراعاة مدخلات الحرارة والحساسية).
المشكلات الشائعة
أي نوع من الفولاذ المقاوم للصدأ يُستخدم أكثر للغازات المتخصصة في أشباه الموصلات والإلكترونيات؟
من إجمالي 6 أجزاء، يظهر 316L بشكل متكرر (6 إصابات) يليه 304L (إصابة واحدة). الجزء المحدد لا يزال يعتمد على الوسط ودرجة الحرارة. على سبيل المثال، كلا أسطح العمل المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ ستتطلب درجات مختلفة إذا تعرض أحدهما لمياه مالحة.
ما نوع المناطق المعرضة للمشكلات؟
بناءً على أوصاف الأعطال، تشمل الأمثلة النموذجية "أنابيب نقل الغاز فائقة النقاء": احتجاز الجسيمات ← تلوث الرقاقة؛ التآكل الخاص بـ Cl⁻/F⁻؛ تآكل منطقة التأثير الحراري للحام (HAZ). الدرجة الموصى بها 316L VIM-VAR بالمواصفات 1/8″–2″. لهذه الظروف، يُوصى بتحديد التركيز المتوسط ودرجة الحرارة وطرق التنظيف في مرحلة التصميم.
ما السماكة التي يجب أن أختارها؟
نطاق السماكة في القائمة هو 0.05–30 mm. للألواح الرقيقة، ضع في الاعتبار الانحناء وتشطيب السطح؛ للألواح السميكة، اللحام والقوة الهيكلية. قد تختلف القيم حسب الشركة المصنعة للمعدات لنفس الموقع. أعد التحقق من الرسم أو ظروف التشغيل.
المواد ذات الصلة والصناعات المجاورة
Applications6